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                            產(chǎn)品名稱(chēng):
                            16路閥門(mén)分配箱VMB
                            產(chǎn)品型號:
                            HSPVMB130616
                            產(chǎn)品特點(diǎn):
                            ...
                            400-900-9093
                            sales@szgp.com.cn
                            深圳寶安松白路 創(chuàng )維數字大廈12樓
                            產(chǎn)品描述:

                              名稱(chēng):閥門(mén)分配箱(Valves Manifold Box)

                              規格:一進(jìn)16出

                              型號:HSPVMB130616

                              ■ 特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H600高

                              ■ VENT排空管:1/2MVCR接口

                              ■ 工藝氣體:1進(jìn)N出(N=2~16)

                              ■ 盤(pán)面規格:1/4"盤(pán)面

                              ■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門(mén),防爆玻璃觀(guān)察窗,泄漏報警,主材SS316L

                              ■ 箱體換氣量: 4"排氣口,SiH4-1200次/小時(shí),其余300次/小時(shí)

                              ■ 選配:外吹掃,抽真空,全自動(dòng)控制,工藝氣體超壓報警,遠程切斷,盤(pán)面加熱及溫控裝置,泄漏報警,報警信號手機短信與電話(huà)通知

                              適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實(shí)驗室、材料分析實(shí)驗室、芯片半導體、光伏太陽(yáng)能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業(yè)。


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