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                            歡迎走進(jìn)蓋斯帕克氣體技術(shù)!
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                            氣路管道總管與支管道流量

                            2020-12-03

                            氣路管道總管與支管道流量-電子特氣工藝系統組成及要求 電子特氣工藝系統組成及要求 電子特氣工藝系統一般性要求 電子特氣工藝系統是用來(lái)處理特殊氣體的一個(gè)系統,這里主要介紹下工藝氣體系統及特種氣體工藝系統的組成及以下設計方面的要求?! ?nbsp;

                            電子特氣工藝系統簡(jiǎn)介   

                            我們知道一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中,在集中供氣系統中一般要有專(zhuān)用裝置儲存鋼瓶,在過(guò)去十多年中,蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前,特種氣體供應沒(méi)有形成有效的系統,鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問(wèn)題非常嚴重,極大的影響到用氣安全。   

                            電子特氣工藝系統統組成    

                            1、儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。   

                            2、氣體分配用閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)。   

                            3、輔助氮氣吹掃系統。   

                            4、尾氣處理裝置。 電子特氣工藝系統要求   

                            1、電子特氣工藝系統的設計應滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特氣工藝的參數、污染控制、使用安全的要求。   

                            2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統。   

                            3、不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統。

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