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                            歡迎走進(jìn)蓋斯帕克氣體技術(shù)!
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                            一、半導體/集成電路

                            蓋斯帕克長(cháng)期與集成電路廠(chǎng)家合作,專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)設計安裝的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD)、低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)、等離子體化學(xué)氣相淀積(PECVD)、濺射(PF)、光刻等半導體設備的供氣服務(wù),同時(shí)還算征對各家工廠(chǎng)的實(shí)際特點(diǎn),量身定制地開(kāi)發(fā)了危險氣體監控管理系統(GDS),為廠(chǎng)家的安全生產(chǎn)保駕護行。還相應開(kāi)發(fā)了上述生產(chǎn)設備的尾氣處理系統,保證了工廠(chǎng)廢氣的排放達標


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